高純氣體管路過濾器原理
這 種過濾器是應(yīng)用于高純氣體管路的一種過濾裝置，不僅局限于實驗室，還可用于工業(yè)氣體管道，可實現(xiàn)高壓與高純度分析試驗技術(shù)，通過高精密過濾芯將入口氣體雙 開口濾筒徑向通氣孔，過濾去除管路中的雜質(zhì)和水分，使通過過濾器后的氣體達到超高純，高壓以及干燥的效果。它的精度高。耐壓力能力強，安全可靠，尤其適用 于高壓高純危險性氣體管路中，保證氣體純度要求，防止檢測精度與安全。
實驗室高純氣體過濾器應(yīng)用
本文主要指氣體過濾器應(yīng)用在實驗室的情況。參照百度的解讀請點：高純高壓管路過濾器
實 驗室高純氣體過濾器，它是一種工業(yè)名詞，應(yīng)用于實驗室氣體系統(tǒng)中時，結(jié)合分析儀器對供應(yīng)氣體純度及潔凈度的要求，例如在SEMI標準中，對10011級以 專用BA級管道中供給的氮和氬氣中規(guī)定≥011Lm粒子≤014個L；而在16MDRAM儀器用氣中>氧氣和氫氣的潔凈度為011Lm的粒 子<1個L。在超高純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，應(yīng)在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。粒子過濾 器的選型及規(guī)格視氣體控制規(guī)范而定。過濾器殼體一般采用316不銹鋼，濾芯有燒結(jié)的多孔金屬濾芯，耐腐蝕耐熱的鎳基合金，100%鎳合金，鋁陶瓷， Teflon膜，陶瓷膜等。
實驗室高純氣體過濾器安裝圖
上 圖所示，我們共安裝了氬氣、氮氣和乙炔三種氣體管路，施工前，我們先提前確定好乙炔氣的放置處，然后固定好鋼瓶減壓閥和固定面板，在乙炔氣瓶匯流排的上方 主管道系統(tǒng)中安裝了氣體過濾器，經(jīng)氣瓶減壓閥進行調(diào)壓后，通過過濾器的壓力已經(jīng)降下來。這種氣路減壓方式，我們選擇是普通的高純氣體過濾系統(tǒng)，足以滿足儀 器要求的潔凈度純度使用。
